초록

본 발명은 반도체나 디스플레이에 제조공정에서 식각 또는 세정 공정 등에 사용된 후 남은 BOE 폐액으로부터 고순도의 불소 성분뿐만 아니라, 고농도의 암모늄 또한 간이하고 경제적인 방법으로 회수할 수 있다. 이를 통해 고순도의 불소 성분과 고농도의 암모늄을 필요로 하는 다양한 산업군에 재활용함으로써 친환경적이며, BOE 폐액을 처리하는 과정에서 발생하는 사회적/경제적 비용을 크게 경감시킬 수 있는 BOE 폐액의 재활용 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

BOE(Buffered Oxide Etchant) 폐액을 준비하는 제1단계;상기 BOE 폐액에 칼슘염을 접촉시켜 BOE 폐액 내의 칼슘과 불소이온(F- )의 몰비가 1: 1.8 내지 1: 2.2가 되도록 제1혼합물을 형성하는 제2단계;상기 제1혼합물을 황산에 반응시켜 중화시키는 제3단계;상기 중화된 제1혼합물에서 불화칼슘(CaF2) 및 제2혼합물로 분리하는 제4단계;상기 제2혼합물에 황산을 투입하여 제2혼합물의 pH를 2 내지 5로 조정하는제5단계; 및상기 제2혼합물에서 황산암모늄((NH4)2SO4)를 분리하는 제6단계; 를 포함하

BOE(Buffered Oxide Etchant) 폐액을 준비하는 제1단계;상기 BOE 폐액에 칼슘염을 접촉시켜 BOE 폐액 내의 칼슘과 불소이온(F- )의 몰비가 1: 1.8 내지 1: 2.2가 되도록 제1혼합물을 형성하는 제2단계;상기 제1혼합물을 황산에 반응시켜 중화시키는 제3단계;상기 중화된 제1혼합물에서 불화칼슘(CaF2) 및 제2혼합물로 분리하는 제4단계;상기 제2혼합물에 황산을 투입하여 제2혼합물의 pH를 2 내지 5로 조정하는제5단계; 및상기 제2혼합물에서 황산암모늄((NH4)2SO4)를 분리하는 제6단계; 를 포함하는 BOE 폐액의 재활용 방법.