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연합인증

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[한국특허] 나트륨 및 금속의 함량이 적은 실리카 연마슬러리 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-003/14
출원번호 10-1991-0017185 (1991-10-01)
공개번호 10-1992-0021685 (1992-12-18)
등록번호 10-0184010-0000 (1998-12-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1019910017185
발명자 / 주소
  • 존에이.롬버거 / 미합중국일리노이*****오우크파크사우스롬바드애비뉴***
  • 찰스씨.패인 / 미합중국일리노이*****오로라릿지로오드****
출원인 / 주소
  • 날코 컴파니 / 미합중국 일리노이주 네이퍼빌시 웨스트 딜 로드 ****
  • 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머티리얼스 씨엠피 인코포레이티드 / 미합중국 ***** 델라웨어 뉴아크 벨레부 로드 ***
대리인 / 주소
  • 최달용 (CHOI, Dall Ryong)
  • 서울 서초구 서초*동 ****-** 진란회관 *층(최달용국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (1996-10-01)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

SiO2 약15내지 약50중량%, 알루미늄(A1)약 100ppm(SiO2기준)이하, 철(Fe) 약50ppm(Sio2기준)이하, 칼륨(K) 약25ppm(SiO2 기준)이하 및 나트륨(Na) 약500ppm(SiO2 기준)이하를 포함하고, pH가 약8.5내지 약11.3범위이며 입자직경이 약4.0 내지 약130nm 임을 특징으로 하는 금속 함량이 적은 암모늄-안정화된 실리카 졸; 테트라메틸암모늄 클로라이드, 테트라에틸암모늄 클로라이드, 테트라프로필암모늄 클로라이드, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드, 테트라에틸암모늄 하이드록사이드, 테트라프로

대표청구항

SiO2 약 15 내지 약 50중량%, 알루미늄 (Al) 약 100ppm(SiO2 기준)이하, 철(Fe) 약 50ppm(SiO2 기준)이하, 칼륨(K) 약 25ppm(SiO2 기준) 이하 및 나트륨(Na) 약 500ppm(SiO2 기준) 이하를 포함하고, pH가 약 8.5 내지 약 11.3 범위이며 입자직경이 약 4.0 내지 약 130nm 임을 특징으로 하는 금속 함량이 적은 암모늄-안정화된 실리카 졸; 테트라메틸암모늄 클로라이드, 테트라에틸암모늄 클로라이드, 테트라프로필암모늄 클로라이드, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드, 테트라에

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