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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1994-0002401 (1994-02-08) |
공개번호 | 10-1994-0019778 (1994-09-15) |
등록번호 | 10-0322640-0000 (2002-01-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019940002401 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1999-01-25) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 미세구조물로부터 플라스틱을 제거하는 방법에 관한 것이다.현재, 플라스틱은 조사한 다음, 필요한 경우, 용매, 예를 들며, 공격적인 용매에 의해 처리하거나 승온에서 처리함으로써 금속성 미세구조물로부터 제거하고, 이러한 방법은 미세구조물의 특성을 손상시킬 수 있거나 미세구조물을 상당히 변화 또는 파괴할 수 있다. 새로운 방법은 플라스틱을 쉽게 제거할 수 있다.금속성 미세구조물을 140℃ 이상에서 비점이 높은 유체로 10 내지 90분 동안 처리한 다음 물로 세척한다. 적합한 유체는 에틸렌 글리콜, 단쇄 디올 또는 디카복실산 에
금속성 미세구조물 소자를 140℃ 이상의 온도에서 비점(대기압에서)이 130℃ 이상인 유체로 처리함을 특징으로 하여, 금속성 미세구조물 소자로부터 플라스틱을 제거하는 방법.
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