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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1996-0040484 (1996-09-18) |
공개번호 | 10-1998-0021582 (1998-06-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960040484 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 메탈 어택 방지 방법에 관한 것으로서, 메탈과 폴리 막간의 오우버랩 되는 패턴에 있어서 폴레이트 폴리를 바 형태로 만든 후 그 주위에 메탈 컨택을 하여 메탈 컨택을 폴레이트 폴리와 접촉시키지 않고 주위에 형성하는 버어니어 키에 적용함으로써 금속(Al) 서킹이나 규소(Si) 노듈 현상이 일어나는 것을 방지하여 숏트 불량을 방지할 수 있는 메탈 어택 방지 방법에 관한 것이다.
메탈 컨택과 폴리 얼라인을 요하는 버어니어 키의 메탈 어택 방지 방법에 있어서, 플레이트 폴리를 도포한 후 포토 에칭하여 바(Bar) 형태로 만든 상태에서 상기 바 형태의 플레이트 폴리 주위에 메탈 컨택을 행함을 특징으로 하는 메탈 어택 방지 방법.
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