[특허]티타늄 나이트라이드 막 제조방법

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티타늄 나이트라이드 막 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/28
출원번호	10-1996-0075202 (1996-12-28)
공개번호	10-1998-0055965 (1998-09-25)
등록번호	10-0439050-0000 (2004-06-25)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019960075202
발명자 / 주소	최경근 / 경기도 수원시 장안구 화서동 *-*
출원인 / 주소	주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산**-
대리인 / 주소	신영무; 최승민 (SHIN, Young Moo) 서울 중구 순화동 -** 에이스타워 층; 서울 중구 순화동 -*** 에이스타워 *층
심사청구여부	있음 (2001-11-27)
심사진행상태	등록결정(심사전치후)
법적상태	소멸

초록

본 발명은 티타늄 나이트라이드막(Tin film) 제조방법에 관한 것으로, 반도체 소자의 제조공정중 티타늄 나이트라이드막 형성공정시 저온에서 TDMAT(Tetrakis Di-Methyl Amino Titanium)나 TDEAT(Tetrakis Di-ethyl Amino Titanium) 등의 소오스를 이용한 열분해 반응으로 티타늄 나이트라이드막을 일정두께로 먼저 증착하고, 고온에서 TiCl4/N2 나 TiCl4/NH3 가스를 이용하여 나머지 두께를 증착하여 물성이 우수한 티타늄 나이트라이드막을 제조하는 방법에 관하여 기술된다.

대표청구항

반도체 소자의 티타늄 나이트라이드막 제조방법에 있어서,TDMAT 및 TDEAT 소오스 중 어느 하나를 이용하여 제 1 티타늄 나이트라이드막을 증착하고, TiCl4/N2 및 TiCl4/NH3 중 어느 하나를 이용하여 상기 제 1 티타늄 나이트라이드막상에 제 2 티타늄 나이트라이드막을 증착하는 2단계 증착법으로 티타늄 나이트라이드막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 티타늄 나이트라이드막 제조방법.

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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