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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-1997-0015440 (1997-04-24) |
공개번호 | 10-1998-0078050 (1998-11-16) |
등록번호 | 10-0429175-0000 (2004-04-14) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970015440 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2002-02-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
연자성막간의 인력을 이용한 액체분사장치에 관한 것으로, 기판상에 형성되는 연자성막과, 연자성막상에 형성되는 박막 코일과, 박막 코일로부터 일정간격을 갖고 박막 코일 상부에 형성되는 연자성체로 이루어진 다이아프램과, 다이아프램상에 형성되는 액체 저장부와, 액체 저장부상에 형성되는 복수개의 노즐을 갖는 오러피스 플레이트로 구성됨으로써, 액체분사장치의 집적화, 소형화, 고성능화가 가능하고, 제조공정이 간단하여 전체적인 공정가를 줄일 수 있다.
기판;상기 기판상에 형성되는 연자성막;상기 연자성막상에 형성되는 박막 코일;상기 박막 코일로부터 일정간격을 갖고 상기 박막 코일 상부에 형성되는 연자성체로 이루어진 다이아프램;상기 다이아프램상에 형성되는 액체 저장부;상기 액체 저장부상에 형성되는 복수개의 노즐을 갖는 오러피스 플레이트로 구성됨을 특징으로 하는 액체분사장치.제 1 항에 있어서, 상기 박막 코일은 스파이럴 형태로 형성됨을 특징으로 하는 액체분사장치.제 1 항에 있어서, 상기 연자성막과 다이아프램 사이의 간격은 0.1∼10㎛임을 특징으로 하는 액체분사장치.제 1 항에 있
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