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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1997-0064771 (1997-11-29) |
공개번호 | 10-1999-0043729 (1999-06-15) |
등록번호 | 10-0252937-0000 (2000-01-21) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019970064771 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-11-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 박막재료의 밀도를 측정하는 방법에 관한 것으로, 특히 X-ray를 이용하여 박막재료를 파괴하지 않고 정확한 밀도를 측정하는 기술에 관한 것이다. 본 발명의 박막재료 밀도측정방법은 소정의 재료로 구성된 박막이 입혀진 기판에 소정의 주기로 입사각을 일정하게 변경하면서 X-ray를 투사하는 단계, 투사된 X-ray의 반사선 강도(intensity)의 요동(oscillation)의 주기를 측정하고, 투사된 X-ray의 파장을 요동의 주기의 두배로 나눔으로써 박막의 두께를 구하는 단계, 박막재료에 의해 산란된 형광선을 측정하여 박
소정의 재료로 구성된 박막이 입혀진 기판에 입사각을 일정하게 변경하면서 X-ray를 투사하는 단계;상기 투사된 X-ray의 반사선 강도(intensity)의 요동(oscillation)의 주기를 측정하고, 상기 투사된 X-ray의 파장을 상기 요동의 주기의 두배로 나눔으로써 상기 박막의 두께를 구하는 단계; 상기 박막재료에 의해 산란된 형광선을 측정하여 상기 박막의 체두께(mass thickness)를 구하는 단계; 그리고, 상기 박막의 체두께를 상기 박막의 두께로 나누는 단계를 포함하여 이루어진 박막재료의 밀도측정 방법.
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