초록 ▼

문서암호 : www.kosen21.org

1. 분석자 서문
Veprek 등은 수 nm크기의 Ti(Al)N고상 입자가 Si3N4와 같은 단일층의 비정질에 둘러싸여 있는 나노 복합 구조 박막의 경우, 그 경도 값이 50 GPa이상으로 다이아몬드에 필적하는 값을 나타낸다고 보고한 바 있다. 그러나 이와 같은 높은 경도 값은 다른 연구자들에 의해서는 관찰되지 않는 경우가 있어 논란이 되어 왔다. 이에 Veprek등은 일반적인 하드 코팅을 크게 재료 자체가 고유의 높은 경도값을 갖는 소재, 증착 과정 중 에너지를 갖는

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1. 분석자 서문
Veprek 등은 수 nm크기의 Ti(Al)N고상 입자가 Si3N4와 같은 단일층의 비정질에 둘러싸여 있는 나노 복합 구조 박막의 경우, 그 경도 값이 50 GPa이상으로 다이아몬드에 필적하는 값을 나타낸다고 보고한 바 있다. 그러나 이와 같은 높은 경도 값은 다른 연구자들에 의해서는 관찰되지 않는 경우가 있어 논란이 되어 왔다. 이에 Veprek등은 일반적인 하드 코팅을 크게 재료 자체가 고유의 높은 경도값을 갖는 소재, 증착 과정 중 에너지를 갖는 이온 충돌에 의해 경도가 향상되는 코팅 소재, 나노 구조를 갖음으로써 높은 경도를 갖게 되는 소재들로 구분하고, 그 경도 향상의 기구를 구분하는 방법론적인 관점을 통해 코팅 소재의 고경도 양상을 분석하였다. 이를 바탕으로 이들 코팅의 Air 분위기에서의 열적, 시간적 안정성 등을 비교하여, Veprek등이 보고한 높은 경도 값이 다른 연구자들에 의해 재현되지 않는 이유를 증착 공정 변수의 부적절한 선택과 증착 도중 삽입되는 산소와 같은 불순물의 함유량 관점에서 설명하였다.

2. 목차
분석자 서문
1. 개요
2. 이전 연구결과
2.1. 증착 도중 에너지를 갖는 이온 충돌에 의한 경도 증가 현상
2.2. 초경도 나노 복합 구조 박막
3. 이온 충돌에 의해 경도가 향상된 코팅과 열적으로 안정한 나노 복합 구조 박막의 비교
4. 안정한 나노 복합 구조 박막 설계 개념
4.1. 스피노달 상 분리에 의한 안정적인 나노 구조 형성
4.2. nc-TiN/a-Si3N4 나노 복합 구조 박막에서의 최적 Si 양은?
5.초경도를 갖고 안정적인 나노복합 구조 박막의 재현성 문제
5.1. 불순물의 역할
5.2 증착 과정 중 상 분리를 완료시키기 위해 필요한 증착 조건들
5.3 80~100 GPa경도 값을 갖는 초고경도 코팅의 재현성
6초고경도 나노 복합 구조 박막의 물성
6.1. 상온 공기 중에서의 장시간 안정성
6.2. 나노 복합 구조 박막의 열적 안정성 및 “self hardening”
6.3. 내산화성
6.4. 형상 및 미세구조
7. 초고경도 나노 복합 구조 박막의 기계적 물성
8. 결론

3. 원문정보
S. Veprek et al., Different Approaches to Superhard Coatings and Nanocomposites, Elsevier B.V., 2005 년 4 월.

※ 이 자료의 분석은 한국과학기술연구원의 박종극님께서 수고해 주셨습니다.