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강유전체 커패시터 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-027/108
출원번호 10-1998-0015695 (1998-04-30)
공개번호 10-1999-0081662 (1999-11-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1019980015695
발명자 / 주소
  • 조성문 / 경기도 안양시 동안구 평촌동 ***-* 초원아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • 주식회사 엘지이아이 / 서울시영등포구여의도동**번지
대리인 / 주소
  • 김용인; 심창섭 (KIM, Yong In)
  • 서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소); 서울 강남구 역삼*동 ***-** 여삼빌딩 **층(***특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (1998-04-30)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

강유전체 커패시터 제조방법에 관한 것으로, 기판 위에 제 1 전극을 형성하고, 제 1 전극 위에 강유전체를 형성한 후 건조시키는 공정을 수 회 반복한 다음, 강유전체 위에 제 2 전극을 형성하고, 강유전체가 결정화되도록 한 번만 열처리함으로써, 공정 수를 줄여 공정 시간 및 효율을 높일 수 있으며, 전극과 강유전체간의 부착력을 증대시키고 임프린트 현상이 없는 강유전체 커패시터를 제작할 수 있다.

대표청구항

기판 위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 스텝;상기 제 1 전극 위에 강유전체를 형성하고 건조시키는 제 2 스텝;상기 강유전체 위에 제 2 전극을 형성하는 제 3 스텝;상기 강유전체가 결정화되도록 열처리하는 제 4 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 강유전체 커패시터 제조방법.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] MIM CAPACITOR AND ITS MANUFACTURE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE | MATSUMOTO NOBUYUKI

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 커패시터 유전체용 조성물 | 유명재, 박성대, 이규복
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