[특허]강유전 커패시터의 성능 향상을 위한 전처리 방법 및 이를 포함하는 소자

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[한국특허] 강유전 커패시터의 성능 향상을 위한 전처리 방법 및 이를 포함하는 소자
Pretreatment method for improving the performance of ferroelectric capacitors and device including the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H10N-097/00
출원번호	10-2021-0146179 (2021-10-29)
공개번호	10-2023-0061684 (2023-05-09)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020210146179
발명자 / 주소	안지훈 / 경기도 용인시 수지구 포은대로**번길 -, 동 **호 김효배 / 경기도 안산시 상록구 학사길 , **호
출원인 / 주소	한양대학교 에리카산학협력단 / 경기도 안산시 상록구 한양대학로 **
대리인 / 주소	김준석; 박민욱
법적상태	공개

초록

본 발명은 강유전 커패시터의 성능 향상을 위한 전처리 방법 및 이를 포함하는 소자에 관한 것이다.본 발명은 (재)한국연구재단 2021년도 사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+) 육성사업(202100000001932) "차세대 메모리 소자를 위한 고온증착용 Hf precursor 개발 및 이를 이용한 원자층 증착공정 개발 평가"을 통해 개발된 기술이다.

대표청구항

하프늄(Hf)기반의 강유전체를 증착하기에 앞서 금속 전극 표면에 전처리 실시를 통해 강유전 특성 및 스위칭 내구성과 안정성이 향상되는 강유전 커패시터의 성능 향상을 위한 전처리 방법 및 이를 포함하는 소자.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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