IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 |
10-1999-0002514
(1999-01-27)
|
공개번호 |
10-2000-0051832
(2000-08-16)
|
등록번호 |
10-0285581-0000
(2001-01-04)
|
DOI |
http://doi.org/10.8080/1019990002514
|
발명자
/ 주소 |
|
출원인 / 주소 |
- 동부일렉트로닉스 주식회사 / 서울 강남구 대치동 ***-**
|
대리인 / 주소 |
-
장성구;
김원준
(JANG, Seong Ku)
-
서울시 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소);
서울시 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소)
|
심사청구여부 |
있음 (1999-01-27) |
심사진행상태 |
등록결정(일반) |
법적상태 |
소멸 |
초록
▼
본 발명은 펌핑 및 배기라인내의 파우더 생성 방지장치에 관한 것으로, 메인장비(10)와 진공펌프(20)사이를 연결하는 펌핑라인중, 메인장비(10)에 인접한 펌핑라인(40)내에 제 1 가열수단(50)이 설치되고, 진공펌프(20)와 스크러버(30)사이에 연결된 펌프 배기라인중, 진공펌프(20)와 인접한 배기라인(60)내에 제 2 가열수단(70)이 설치되고, 이러한 가열수단은 콘트롤러(100)에 의해 작동이 제어된다. 진공펌프(20)에 근접한 펌핑라인(40)에는 제 1 온도검출센서(80)가 설치되어 펌핑라인(40)내의 가스온도를 감지하는
본 발명은 펌핑 및 배기라인내의 파우더 생성 방지장치에 관한 것으로, 메인장비(10)와 진공펌프(20)사이를 연결하는 펌핑라인중, 메인장비(10)에 인접한 펌핑라인(40)내에 제 1 가열수단(50)이 설치되고, 진공펌프(20)와 스크러버(30)사이에 연결된 펌프 배기라인중, 진공펌프(20)와 인접한 배기라인(60)내에 제 2 가열수단(70)이 설치되고, 이러한 가열수단은 콘트롤러(100)에 의해 작동이 제어된다. 진공펌프(20)에 근접한 펌핑라인(40)에는 제 1 온도검출센서(80)가 설치되어 펌핑라인(40)내의 가스온도를 감지하는 반면, 스크러버(30)에 인접한 펌프 배기라인(60)내에는 제 2 온도 검출센서(90)가 설치되어, 검출된 각각의 온도신호를 콘트롤러(100)에 전달한다. 제 1 및 제 2 가열수단(50)(70)은 전원 케이블(2)에 연결된 전열 코일로 구성된다.이와 같이 구성된 본 발명은 라인내에 가열수단을 설치한 직접가열방식을 채용함으로서, 펌핑 및 배기라인내에 파우더가 생성되는 것을 방지하며, 파우더 생성을 방지하므로서 펌프 및 스크러버의 트립이 방지될 뿐만 아니라, 펌프 분해검사(overhaul)의 주기 및 배기라인의 PM 주기가 연장되며, 또한, 콘트롤러에 의해 가스의 성분에 따른 온도의 조절이 용이할 뿐만아니라, 가스의 온도변화와 전류의 변화를 확인할 수 있으므로, 반도체 제조 공정이 원할히 수행될 수 있는 효과가 있다.
대표청구항
▼
반도체 제조설비의 펌핑라인 및 배기라인내의 파우더 생성을 방지하는 장치에 있어서,메인장비와 진공펌프사이를 연결하는 펌핑라인중, 상기 메인장비에 인접한 펌핑라인내에 설치된 제 1 가열수단과,상기 펌프와 스크러버사이에 연결된 펌프 배기라인중, 상기 펌프와 인접한 배기라인내에 설치된 제 2 가열수단과,상기 펌핑라인중, 상기 진공펌프에 근접한 펌핑라인에 설치되어 펌핑라인내의 가스온도를 감지하는 제 1 온도검출센서와,상기 펌프 배기라인중, 상기 스크러버에 인접한 펌프 배기라인내에 설치된 제 2 온도검출센서와,상기 제 1 및 제 2 온도검출센
반도체 제조설비의 펌핑라인 및 배기라인내의 파우더 생성을 방지하는 장치에 있어서,메인장비와 진공펌프사이를 연결하는 펌핑라인중, 상기 메인장비에 인접한 펌핑라인내에 설치된 제 1 가열수단과,상기 펌프와 스크러버사이에 연결된 펌프 배기라인중, 상기 펌프와 인접한 배기라인내에 설치된 제 2 가열수단과,상기 펌핑라인중, 상기 진공펌프에 근접한 펌핑라인에 설치되어 펌핑라인내의 가스온도를 감지하는 제 1 온도검출센서와,상기 펌프 배기라인중, 상기 스크러버에 인접한 펌프 배기라인내에 설치된 제 2 온도검출센서와,상기 제 1 및 제 2 온도검출센서의 검출온도에 따라 상기 제 1 및 제 2 가열수단의 작동을 제어하는 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 파우더 생성 방지장치.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 가열수단은 양단부에 유입구와 유출구가 형성된 케이스와, 이 케이스내에 장착되는 전열코일로 구성되며, 이 전열코일은 케이블에 연결된 것을 특징으로 하는 파우더 생성 방지장치.제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 가열수단은 펌핑 및 배기라인내에 각각 장착되는 전열코일로 구성되며, 이 전열코일은 케이블에 연결된 것을 특징으로 하는 파우더 생성 방지장치.제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은 상기 펌핑 및 펌프 배기라인내의 가스의 온도를 150-250℃로 제어하는 것을 특징으로 하는 파우더 생성 방지장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.