초록 ▼

기판 상에 도달하는 복사에너지의 세기를 균일하게 하여 기판 내의 온도 균일도를 향상시킬 수 있는 급속 열처리장치에 관해 개시하고 있다. 본 발명의 장치는, 기판을 가열하기 위한 복사에너지를 발산하는 다수의 열원램프와, 열원램프의 각각에서 나오는 복사에너지를 기판의 표면에 중첩 확산시키기 위해 기판과 열원램프 사이에 위치한 다수의 줌렌즈 어레이를 구비하는 것을 특징으로 한다. 여기서 줌렌즈 어레이는, 다수개의 원통 또는 반원통형의 석영봉을 적어도 2층 이상으로 교차적층시켜 만들거나, 석영판의 굴절률을 어레이형으로 변화시켜 만든다. 본

기판 상에 도달하는 복사에너지의 세기를 균일하게 하여 기판 내의 온도 균일도를 향상시킬 수 있는 급속 열처리장치에 관해 개시하고 있다. 본 발명의 장치는, 기판을 가열하기 위한 복사에너지를 발산하는 다수의 열원램프와, 열원램프의 각각에서 나오는 복사에너지를 기판의 표면에 중첩 확산시키기 위해 기판과 열원램프 사이에 위치한 다수의 줌렌즈 어레이를 구비하는 것을 특징으로 한다. 여기서 줌렌즈 어레이는, 다수개의 원통 또는 반원통형의 석영봉을 적어도 2층 이상으로 교차적층시켜 만들거나, 석영판의 굴절률을 어레이형으로 변화시켜 만든다. 본 발명에 따르면, 열원의 기하학적 구조나 그 부분적인 손상에 관계없이 기판 내의 온도균일도를 우수하게 유지할 수 있으므로 공정불량을 감소시킬 수 있다.

대표청구항

기판을 가열하기 위한 복사에너지를 발산하는 다수의 열원램프와;상기 열원램프의 각각에서 나오는 복사에너지를 상기 기판의 표면에 중첩 확산시키기 위해 기판과 열원램프 사이에 위치한 다수의 줌렌즈 어레이를 구비하는 급속 열처리장치.

기판을 가열하기 위한 복사에너지를 발산하는 다수의 열원램프와;상기 열원램프의 각각에서 나오는 복사에너지를 상기 기판의 표면에 중첩 확산시키기 위해 기판과 열원램프 사이에 위치한 다수의 줌렌즈 어레이를 구비하는 급속 열처리장치.