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NTIS 바로가기한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.16 no.6, 2015년, pp.3714 - 3721
양학진 (동양미래대학교 로봇자동화공학부) , 김성근 (호서대학교 기계공학부) , 조중근 ((주)포톤)
Although sheath-type heating line is generally used for susceptor heater, performance deterioration problems in temperature uniformity occurs in the case of large scale and high temperature condition. We developed new design and prototype of the susceptor using sheet metal to provide performance imp...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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서셉터에서 일반적으로 사용되는 고온용 히터를 구현하는 방법은 무엇인가? | 서셉터에서 일반적으로 사용되는 고온용 히터를 구현하는 방법으로는 스테인리스 파이프에 Ni-Cr이나 Ni-Fe 등의 열저항선을 설치하고 MgO 입자를 충진하여 사용하는 파이프 형식의 쉬스(Sheath) 열선이 있지만[3], 대용량 대면적 초고온에서는 온도의 불균일성 문제가 나타나며, 세라믹 절연체에 균열이 발생할 경우 대기 중의 수분과 반응하여 암모니아 가스등이 발생할 가능성이 있는 등의 문제가 있어서 청정 환경에서 미세한 오차 없이 공정을 진행해야 하는 제조 공정에서는 더욱 적합한 구현방법이 필요하다. 한편, 기판에 증착되는 박막의 증착율은 기판 온도에 의해 크게 영향 받으며 기판이 안착되는 서셉터 상면의 온도 균일도가 CVD 박막 두께 균일도를 좌우하는 가장 큰 요인이 된다[1,2,3,4,5]. | |
서셉터 제작 시 진동 융착 방식으로 용접하였을 때 어떤 장점이 있는가? | 서셉터 몸체에 덮개를 씌우고 진동 융착 방식으로 용접을 하였다. 이러한 방식은 기존 이온빔 용접 방식에 비해 견고한 접합을 유지할 수 있다. 반면, 앞에서 언급한 질화 알루미늄 파우더인 경우는 운모판과 열선 사이인 에어갭 공간에 도포하여 보 았으나 분진이나 용접불량 등의 문제점을 야기하는 등의 문제에 의하여 양산시 적용하지 않기로 하였다. | |
기판에 증착되는 박막의 증착율과 균일도는 무엇에 영향을 받는가? | 서셉터에서 일반적으로 사용되는 고온용 히터를 구현하는 방법으로는 스테인리스 파이프에 Ni-Cr이나 Ni-Fe 등의 열저항선을 설치하고 MgO 입자를 충진하여 사용하는 파이프 형식의 쉬스(Sheath) 열선이 있지만[3], 대용량 대면적 초고온에서는 온도의 불균일성 문제가 나타나며, 세라믹 절연체에 균열이 발생할 경우 대기 중의 수분과 반응하여 암모니아 가스등이 발생할 가능성이 있는 등의 문제가 있어서 청정 환경에서 미세한 오차 없이 공정을 진행해야 하는 제조 공정에서는 더욱 적합한 구현방법이 필요하다. 한편, 기판에 증착되는 박막의 증착율은 기판 온도에 의해 크게 영향 받으며 기판이 안착되는 서셉터 상면의 온도 균일도가 CVD 박막 두께 균일도를 좌우하는 가장 큰 요인이 된다[1,2,3,4,5]. |
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