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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)포톤 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-07 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500018683 |
과제고유번호 | 1425079730 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-03 |
키워드 | 서셉터.대면적.온도균일도.히터코어.제어. |
□ 정량적 목표항목 및 달성도
평가항목 : 계획(목표치), 실적(결과)
1. 온도 균일도 : 계획(1.0% 이하), 실적(0.36%)
2. 사용온도 : 계획(480℃ 이상), 실적(484.5℃)
3. 변형 : 계획(5mm 이하), 실적(3.12mm)
4. 신뢰성 : 계획(100회 이상), 실적(255회)
5. 온도상승시간 : 계획(60분 이하), 실적(45분)
6. 크기 : 계획(1,700x1,700mm), 실적(1,700x1,700mm)
□ 기대효과
◦ 개발 종료 후 1년내
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