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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2000-0036462 (2000-06-29) |
공개번호 | 10-2001-0034992 (2001-05-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020000036462 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2000-06-29) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
자외선 조사장치는 일측에 가스공급부 및 진공 배기구가 형성된 진공챔버와, 상기 진공챔버의 상측에 형성되어 상기 피조사물의 표면으로 자외선 광을 방출하는 자외선 광원과, 상기 피조사물을 유지하는 지지대와, 제어부를 포함하여 이루어지고, 상기 챔버 내부가 360∼1밀리 토르의 저진공 상태에서 상기 자외선 광원으로부터의 자외선 광이 피조사물 표면에 조사된다.
웨이퍼 또는 유리기판과 같은 피조사물의 표면 유기물을 제거하기 위한 자외선 조사장치에 있어서,일측에 가스공급부 및 진공 배기구가 형성된 진공챔버와,상기 진공챔버의 상측에 형성되어 상기 피조사물의 표면으로 자외선 광을 방출하는 자외선 광원과,상기 피조사물을 유지하는 지지대와,제어부를 포함하여 이루어지고,상기 챔버 내부가 360∼1밀리 토르의 저진공 상태에서 상기 자외선 광원으로부터의 자외선 광이 피조사물 표면에 조사되는 것을 특징으로 하는 자외선 조사장치.
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