초록 ▼

소정의 반도체 장치 생산 설비, 인터페이스 박스, 인터페이스 박스 오프너가 내부에 배치되어 있는 내부 챔버와, 상기 내부 챔버를 둘러싸고, 내부 챔버와의 사이에 공기 순환 경로를 형성하는 외부 챔버로서 이루어지는 클린룸으로서, 내부 챔버에 설치된 팬 필터 유닛을 통하여, 내부 챔버의 공기가 공기 순환 경로를 통하여 순환하도록 구성되어 있는 클린룸에 있어서,내부 챔버와 공기 순환 경로를 순환하고 있는 제 1의 공기류와는 독립적으로, 클린룸 외부로부터 청정한 제 2의 공기류를 상기 인터페이스 박스 오프너 부근에 직접 공급하도록 구성되어

소정의 반도체 장치 생산 설비, 인터페이스 박스, 인터페이스 박스 오프너가 내부에 배치되어 있는 내부 챔버와, 상기 내부 챔버를 둘러싸고, 내부 챔버와의 사이에 공기 순환 경로를 형성하는 외부 챔버로서 이루어지는 클린룸으로서, 내부 챔버에 설치된 팬 필터 유닛을 통하여, 내부 챔버의 공기가 공기 순환 경로를 통하여 순환하도록 구성되어 있는 클린룸에 있어서,내부 챔버와 공기 순환 경로를 순환하고 있는 제 1의 공기류와는 독립적으로, 클린룸 외부로부터 청정한 제 2의 공기류를 상기 인터페이스 박스 오프너 부근에 직접 공급하도록 구성되어 있는 클린룸.

대표청구항 ▼

소정의 반도체 장치 생산 설비, 다수의 웨이퍼를 내장하고 이동 가능하게 구성된 인터페이스 박스, 상기 인터페이스 박스상에 고정되고, 상기 인터페이스 박스 내에서 상기 웨이퍼를 상기 생산 설비 내로 반송하는 인터페이스 박스 오프너가 내부에 배치되어 있는 내부 챔버와, 상기 내부 챔버를 둘러싸고, 상기 내부 챔버와의 사이에 공기 순환 경로를 형성하도록 구성된 외부 챔버로서 구성된 클린룸으로서, 상기 내부 챔버에 설치된 팬 필터 유닛을 통하여, 상기 내부 챔버 내의 공기가 상기 공기 순환 경로를 통하여 순환하도록 구성되어 있는 클린룸에

소정의 반도체 장치 생산 설비, 다수의 웨이퍼를 내장하고 이동 가능하게 구성된 인터페이스 박스, 상기 인터페이스 박스상에 고정되고, 상기 인터페이스 박스 내에서 상기 웨이퍼를 상기 생산 설비 내로 반송하는 인터페이스 박스 오프너가 내부에 배치되어 있는 내부 챔버와, 상기 내부 챔버를 둘러싸고, 상기 내부 챔버와의 사이에 공기 순환 경로를 형성하도록 구성된 외부 챔버로서 구성된 클린룸으로서, 상기 내부 챔버에 설치된 팬 필터 유닛을 통하여, 상기 내부 챔버 내의 공기가 상기 공기 순환 경로를 통하여 순환하도록 구성되어 있는 클린룸에 있어서,상기 내부 챔버와 상기 공기 순환 경로를 순환하고 있는 제 1의 공기류와는 독립적으로, 상기 클린룸 외부로부터 청정한 제 2의 공기류를 상기 인터페이스 박스 오프너 부근에 직접 공급하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 클린룸.