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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0009714 (2001-02-26) |
공개번호 | 10-2001-0085611 (2001-09-07) |
등록번호 | 10-0709520-0000 (2007-04-13) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010009714 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-10-20) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 13C-NMR 측정에 의해 검출되는 수지 구성 중의 오르토-오르토 결합 (o-o)/ 오르토-파라 결합 (o-p)/ 파라-파라 결합 (p-p) 의 피크 강도비가 각 분자량역에서도 비율이 실질적으로 변화하지 않고 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 (Mw) 이 3000 ∼ 20000 인 것을 특징으로 하는 페놀 노볼락 수지를 제공하는 것이다. 본 발명에 따르면, 0.35 ㎛ 이하의 미세한 레지스트 패턴을 형성하는 경우에 밀집 패턴, 고립 패턴 모두 형상 좋게 형성할 수 있으며, 감도, 해상성, 초점 심도폭 특성이 우수하
13C-NMR 측정에 의해 검출되는 수지 구성 중의 오르토-오르토 결합 (o-o)/ 오르토-파라 결합 (o-p)/ 파라-파라 결합 (p-p) 의 피크 강도비가 각 분자량역에서도 비율이 실질적으로 변화하지 않고, 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 (Mw) 이 3000 ∼ 20000 인 것을 특징으로 하는 페놀 노볼락 수지.
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