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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0022961 (2001-04-27) |
공개번호 | 10-2002-0083371 (2002-11-02) |
등록번호 | 10-0391225-0000 (2003-07-01) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010022961 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2001-04-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
레이저 빔 조사 장치로부터 방사되는 레이저 빔 및 이소프로필 알코올(IPA)을 이용한 반도체 기판의 표면처리 장치 및 방법이 제시된다.반도체 기판의 표면처리 장치는 순수가 채워지는 세정챔버, 반도체 기판을 상하로 이송하기 위해 세정챔버 저부에 설치된 기판 이송수단, 기판 이송수단 상에 설치된 기판 홀더, 세정챔버 상측에 설치된 가스 분사구 및 레이저 빔 조사 장치로부터 방사되는 레이저 빔이 반도체 기판 상에 조사될 수 있도록 세정챔버의 적어도 일측면에 설치된 레이저 빔 조사구를 포함한다. 반도체 기판의 표면처리를 위하여 반도체 기
레이저 빔 조사 장치로부터 방사되는 레이저 빔을 이용하여 반도체 기판의 파티클을 제어하기 위한 표면처리 장치로서,반도체 기판이 로딩되며, 순수가 채워지는 세정챔버;상기 반도체 기판을 상하로 이동시키기 위해 상기 세정챔버 저부에 설치된 기판 이송 수단;상기 반도체 기판을 고정하기 위해 상기 기판 이송 수단 상에 설치된 기판 홀더;상기 세정챔버 일측에 설치되어 세정 가스 및 건조 가스를 분사시키기 위한 가스 분사구; 및상기 레이저 빔 조사 장치로부터 방사되는 레이저 빔이 상기 세정챔버 내로 조사될 수 있도록 상기 세정챔버의 적어도 일측
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