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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7032616 (2022-09-20) | |
공개번호 | 10-2022-0139401 (2022-10-14) | |
등록번호 | 10-2471394-0000 (2022-11-23) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-067076 (2020-04-02) | |
국제출원번호 | PCT/JP2021/013518 (2021-03-30) | |
국제공개번호 | WO 2021/200936 (2021-10-07) | |
번역문제출일자 | 2022-09-20 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227032616 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-09-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
고순도 이소프로필 알코올로 이루어지는 반도체 처리액으로서, SUS304 소재 용기 내에서 50℃, 질소 분위기하, 60일간 보관했을 때의 하기 식 (1)로 표시되는 옥솔란 화합물의 농도가 이소프로필 알코올에 대한 질량 기준으로 25 ppb 이하인 반도체 처리액 및 그 제조 방법을 제공한다. 식에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1~3의 알킬기를 나타내고, R1 및 R2의 탄소수의 합계는 3 이하이다. R3은 수소 원자 또는 이소프로필기를 나타낸다.
고순도 이소프로필 알코올로 이루어지는 반도체 처리액으로,SUS304 소재 용기 내에서 50℃, 질소 분위기하, 60일간 보관했을 때의 하기 식 (1):[식에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1~3의 알킬기를 나타낸다. 단, R1 및 R2의 탄소수의 합계는 3 이하이다. R3은 수소 원자 또는 이소프로필기를 나타낸다.]로 표시되는 옥솔란 화합물의 농도가 이소프로필 알코올에 대한 질량 기준으로 25 ppb 이하인, 반도체 처리액.
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