초록 ▼

웨이퍼의 정렬 상태를 감시하는 완전 고정 상부 카메라와 웨이퍼 상의 칩 패드와 웨이퍼 상부의 프로브 카드의 니들 간의 정렬을 위하는 반고정 하부 카메라를 포함하는 프로버에 있어서, 스테이지 상에 놓여지는 베이스 판에 고정되는 외부판, 일부가 외부판 내에 삽입되어 있고 다른 일부는 외부판으로부터 돌출된 내부판, 외부판과 내부판을 고정시키는 수단, 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단, 및 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단을 포함하는 기술이 개시된다. 따라서 일정한 간격으로 내부판의

웨이퍼의 정렬 상태를 감시하는 완전 고정 상부 카메라와 웨이퍼 상의 칩 패드와 웨이퍼 상부의 프로브 카드의 니들 간의 정렬을 위하는 반고정 하부 카메라를 포함하는 프로버에 있어서, 스테이지 상에 놓여지는 베이스 판에 고정되는 외부판, 일부가 외부판 내에 삽입되어 있고 다른 일부는 외부판으로부터 돌출된 내부판, 외부판과 내부판을 고정시키는 수단, 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단, 및 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단을 포함하는 기술이 개시된다. 따라서 일정한 간격으로 내부판의 이동 거리를 조절하여, 위치 조정자의 숙련도에 영향을 받지 않고, 하부 카메라 위치 툴(34b)의 정확한 위치 조정이 가능하게 되어 보전 업무의 신속 및 정확성이 향상되고 그에 따르는 소요 시간도 줄일 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

웨이퍼의 정렬 상태를 감시하는 상부 카메라와 상기 웨이퍼 상의 칩 패드와 상기 웨이퍼 상부의 프로브 카드의 니들 간의 정렬을 위하는 하부 카메라를 포함하고, 상기 상부 카메라의 위치는 고정되어 있으며, 상기 하부 카메라는 상기 웨이퍼가 놓여지는 스테이지의 이동에 따른 위치 조정만이 가능한 프로버에 있어서, 상기 스테이지 상에 놓여지는 베이스판에 고정되는 외부판, 일부가 상기 외부판 내에 삽입되어 있고 다른 일부는 상기 외부판으로부터 돌출된 내부판, 상기 외부판과 내부판을 고정시키는 수단, 상기 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축

웨이퍼의 정렬 상태를 감시하는 상부 카메라와 상기 웨이퍼 상의 칩 패드와 상기 웨이퍼 상부의 프로브 카드의 니들 간의 정렬을 위하는 하부 카메라를 포함하고, 상기 상부 카메라의 위치는 고정되어 있으며, 상기 하부 카메라는 상기 웨이퍼가 놓여지는 스테이지의 이동에 따른 위치 조정만이 가능한 프로버에 있어서, 상기 스테이지 상에 놓여지는 베이스판에 고정되는 외부판, 일부가 상기 외부판 내에 삽입되어 있고 다른 일부는 상기 외부판으로부터 돌출된 내부판, 상기 외부판과 내부판을 고정시키는 수단, 상기 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단, 및상기 외부판과 내부판을 일체로 하여 X축 방향으로 이동시키는 수단을 포함하는 위치 조정 수단을 갖는 프로버.