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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0078557 (2001-12-12) |
공개번호 | 10-2003-0048605 (2003-06-25) |
등록번호 | 10-0615437-0000 (2006-08-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010078557 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2001-12-12) |
심사진행상태 | 등록결정(취소환송후) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에서는, 기판 상에 금속으로 이루어진 배리어층을 증착하는 단계와; 상기 배리어층 상부에 구리 금속층을 증착하는 단계와; 상기 구리 금속층을 습식 식각하는 단계와; 상기 습식 식각된 구리 금속층을 마스크로 하여, 배리어층을 건식 식각하는 단계를 포함하는 구리 배선의 식각 방법을 제공하므로써, 배리어층과 구리 금속층의 식각 균일도를 유지할 수 있으며, 신뢰성 있는 금속 배선을 제공할 수 있어, 대면적, 고해상도 액정표시장치의 개발을 촉진할 수 있고, 관련 전자기기 제품에도 적용 범위를 넓힐 수 있다.
기판 상에 금속으로 이루어진 배리어층을 증착하는 단계와; 상기 배리어층 상부에 구리 금속층을 증착하는 단계와; 상기 구리 금속층을 습식 식각하는 단계와; 상기 습식 식각된 구리 금속층을 마스크로 하여, 배리어층을 건식 식각하는 단계를 포함하는 구리 배선의 식각 방법.
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