최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-2001-0088529 (2001-12-29) |
공개번호 | 10-2003-0058142 (2003-07-07) |
등록번호 | 10-0788390-0000 (2007-12-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010088529 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2006-12-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 PR(Photo-Resistor)을 현상시키는 현상액 노즐에 관한 것으로서, 본 발명의 현상액 노즐은 일자형의 단일바의 스페이서를 구비하여 현상액의 공급 압력을 분압시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 스페이서에 형성된 복수개의 홀을 통하여 상기 현상액을 안정적으로 토출할 수 있기 때문에 PR 현상불량을 방지하여 수율을 높일 수 있다.
현상액을 공급하는 복수의 공급관과 상기 공급관으로부터 공급받은 현상액을 분사하기 위한 현상액 분사 노즐과, 상기 현상액 분사 노즐의 내부에 상기 공급관으로부터 공급된 현상액의 공급 압력을 줄이기 위한 스페이서와, 상기 스페이서의 하부에 형성되어 상기 현상액을 분사하는 노즐팁으로 구성되는 현상액 노즐에 있어서,상기 스페이서는 상기 현상액 분사 노즐과 평행한 일자형 단일 바로 형성되어 상기 공급관으로부터 공급되는 상기 현상액의 공급압력을 줄여 상기 노즐 팁으로 상기 현상액을 토출하기 위해 상기 단일 바를 따라 일렬로 형성된 복수의 홀을
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.