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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0087072 (2002-12-30) |
공개번호 | 10-2004-0060302 (2004-07-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020087072 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-12-26) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
초록이 없습니다.
흡착제를 이용하여 삼불화질소가스(NF3)를 정제하는 방법에 있어서,알루미늄나이트레이트와 붕산의 혼합물을 침전제인 암모니아수 용액으로 처리하여 알루미나-알루미늄 보레이트를 흡착제로 제조한 후 컬럼에 충전하여, 그 충전층에 불순물 가스를 함유하는 삼불화질소가스를 -100℃∼50℃의 온도에서 통기시키는 것을 특징으로 하는 삼불화질소가스의 정제방법.
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