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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0087553 (2002-12-30) |
공개번호 | 10-2004-0061351 (2004-07-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020087553 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-12-24) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
초록이 없습니다.
ZSM-5 제올라이트를 디실리케이트시킨 후, 1B족 금속을 함침시키고, 이를 칼럼에 충전시킨 다음, CF4를 포함하는 삼불화질소 가스를 통기시켜 NF3를 선택적으로 흡착시키는 단계를 포함하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
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