초록 ▼

본 발명의 과제는, 불평형 전압을 저감함으로써, 불평형 전압에 기인하는 측정 오차를 감소시키고, 또한 센서 중의 최대 전계 강도도 억제하여 정전 내압성을 향상시킨 반도체 홀 센서를 제공하는 것이다. 십자 형상을 한 반도체 홀 센서의 패턴(1)의 외주에 존재하는 안쪽 코너 부분에 절결부(cut)(2a)를 형성한다. 십자 패턴 형상의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 인접하는 2개소 내지는 4개소에 절결부를 형성하고, 또한 십자 패턴 형상의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 입력 단자측 패턴과 출력 단자측 패턴

본 발명의 과제는, 불평형 전압을 저감함으로써, 불평형 전압에 기인하는 측정 오차를 감소시키고, 또한 센서 중의 최대 전계 강도도 억제하여 정전 내압성을 향상시킨 반도체 홀 센서를 제공하는 것이다. 십자 형상을 한 반도체 홀 센서의 패턴(1)의 외주에 존재하는 안쪽 코너 부분에 절결부(cut)(2a)를 형성한다. 십자 패턴 형상의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 인접하는 2개소 내지는 4개소에 절결부를 형성하고, 또한 십자 패턴 형상의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 입력 단자측 패턴과 출력 단자측 패턴이 교차하는 각도가 인접하는 2개소 혹은 4개소 모두를 예각이 되도록 하였기 때문에, 반도체 홀 센서의 패턴의 결함 혹은 언밸런스에 대하여 둔감하게 되어, 종래의 십자 형상의 반도체 홀 센서의 패턴과 비교하여 불평형 전압을 저감할 수 있다.

대표청구항 ▼

입력측 패턴으로서, 길이와 폭이 각각 L1과 W1이고, 출력측 패턴으로서 길이와 폭이 각각 L2와 W2인 십자 형상 패턴을 갖는 반도체 홀 센서에 있어서, 막 두께, 불순물 농도, 상기 입력측 패턴의 길이 L1 및 폭 W1과, 상기 출력측 패턴의 길이 L2와 폭 W2의 값을 변화시키지 않고, 입력측 단자 간의 저항값 또는 출력측 단자 간의 저항값 중 적어도 한쪽이 상기 입력측 패턴으로서 길이 L1 및 폭 W1의 사각형과 출력측 패턴으로서 길이 L2 및 폭 W2의 사각형으로 이루어지는 십자 형상 패턴의 저항값에 대하여, 1.25배 내

입력측 패턴으로서, 길이와 폭이 각각 L1과 W1이고, 출력측 패턴으로서 길이와 폭이 각각 L2와 W2인 십자 형상 패턴을 갖는 반도체 홀 센서에 있어서, 막 두께, 불순물 농도, 상기 입력측 패턴의 길이 L1 및 폭 W1과, 상기 출력측 패턴의 길이 L2와 폭 W2의 값을 변화시키지 않고, 입력측 단자 간의 저항값 또는 출력측 단자 간의 저항값 중 적어도 한쪽이 상기 입력측 패턴으로서 길이 L1 및 폭 W1의 사각형과 출력측 패턴으로서 길이 L2 및 폭 W2의 사각형으로 이루어지는 십자 형상 패턴의 저항값에 대하여, 1.25배 내지 2.75배로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 홀 센서. 입력측 패턴으로서, 길이와 폭이 각각 L1과 W1이며, 출력측 패턴으로서, 길이와 폭이 각각 L2와 W2인 십자 형상 패턴을 갖는 반도체 홀 센서에 있어서, 상기 십자 형상 패턴을 갖는 반도체 홀 센서의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 인접하는 2개소 또는 4개소 모두, 정방 형상, 다각 형상, 원 형상, 타원 형상, 또는 상기 형상 중 어느 하나를 복수개 조합한 형상의 절결부를 1 종류 이상 갖고, 막 두께, 불순물 농도, 상기 입력측 패턴의 길이 L1 및 폭 W1과, 상기 출력측 패턴의 길이 L2 및 폭 W2의 값을 변화시키지 않고, 입력측 단자 간의 저항값 또는 출력측 단자 간의 저항값 중 적어도 한쪽이, 상기 입력측 패턴으로서 길이 L1 및 폭 W1의 사각형과 출력측 패턴으로서 길이 L2 및 폭 W2의 사각형으로 이루어지는 십자 형상 패턴의 저항값에 대하여, 1.25배 내지 2.75배로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 홀 센서. 제1항 또는 제2항에 있어서, 입력측 단자 간의 저항값 또는 출력측 단자 간의 저항값 중 적어도 한쪽이, 상기 입력측 패턴으로서 길이 L1 및 폭 W1의 사각형과 출력측 패턴으로서 길이 L2 및 폭 W2의 사각형으로 이루어지는 십자 형상 패턴의 저항값에 대하여, 1.5배 내지 2.5배로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 홀 센서. 제3항에 있어서, 입력측 단자 간의 저항값 및 출력측 단자 간의 저항값이, 상기 입력측 패턴으로서 길이 L1 및 폭 W1의 사각형과 출력측 패턴으로서 길이 L2 및 폭 W2의 사각형으로 이루어지는 십자 형상 패턴의 저항값에 대하여, 1.5배 내지 2.5배로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 홀 센서. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 십자 형상 패턴의 외주에 존재하는 4개의 안쪽 코너 부분 중, 입력 단자측 패턴과 출력 단자측 패턴이 교차하는 각도가, 인접하는 2개소 또는 4개소 모두가 예각인 것을 십자 형상 패턴의 특징으로 하는 반도체 홀 센서.