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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2004-0002035 (2004-01-12) |
공개번호 | 10-2005-0073916 (2005-07-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040002035 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
엑시머 레이저의 공진을 유도하는 광 공진 장치와 실제 공진 시 이동하는 레이저 광의 이동 경로를 자동적으로 일치시키는 엑시머 레이저 장비가 제공된다. 엑시머 레이저 장비는 광 공진 장치와 광의 이동 경로의 최적의 위치를 산정하여 데이터를 생성하고 이를 자동으로 정렬시켜 엑시머 레이저 장비의 효율과 광 공진 장치의 수명을 상승 시킨다.
엑시머 레이저 발진 장치의 양 말단에 장착되어 레이저 모드를 조정하는 반사 장치; 상기 반사 장치에 유동성 있게 연결되어 레이저 광축을 정렬하는 광 공진 장치; 상기 광 공진 장치의 위치 조정을 가능하게 하는 1개 이상의 가동형 멈춤 장치; 상기 가동형 멈춤 장치에서 상기 광 공진 장치의 위치 변화 신호를 전달 받는 위치 변위 감지 장치; 상기 변위 감지 장치의 위치 변화 신호에 근거하여 최적의 광 공진 장치 정렬을 위한 위치
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