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연합인증

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가스 방전 엑시머 레이저를 효율적으로 동작시키기 위한 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01S-003/036
  • H01S-003/134
  • H01S-003/225
출원번호 10-2009-7022377 (2009-10-26)
공개번호 10-2010-0015929 (2010-02-12)
국제출원번호 PCT/US2008/058293 (2008-03-26)
국제공개번호 WO2008118975 (2008-10-02)
번역문제출일자 2009-10-26
DOI http://doi.org/10.8080/1020097022377
발명자 / 주소
  • 레배터 제프리 아이. / 미국 캘리포니아 ***** 솔라나 비치 카미노 산타 바바라 ***
  • 모리스 제임스 에이치. / 미국 캘리포니아 ***** 인시니타스 다이아몬드 헤드 드라이브 ****
  • 브룩스 데이비드 엠. / 미국 캘리포니아 ***** 오션사이드 타이트혹 웨이 ****
출원인 / 주소
  • 포토메덱스, 인크. / 미합중국 펜실베니아 ***** 몽고메리빌 키스톤 드라이브 ***
대리인 / 주소
  • 리앤목특허법인
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

가스 방전 엑시머 레이저(gas discharge excimer laser)(10)를 효율적으로 동작시키기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 엑시머 레이저(10)는 레이저 가스를 담고 있는 챔버(12), 상기 챔버(12) 내의 제 1 및 제 2 전극(34, 38), 및 광 공진 캐비티(optical resonant cavity)를 정의하는 다수의 반사 소자(22, 24)들을 포함할 수 있다. 상기 방법은, 제 1 압력으로 레이저 가스를 설정하는 단계; 상기 제 1 압력으로 가스를 설정한 후에, 전극(34, 38)에 제 1 전압

대표청구항 ▼

레이저 가스들을 담도록 구성된 챔버;상기 챔버 내에 있는 제 1 및 제 2 전극으로서, 레이저 가스들로부터 광 방출을 만들기 위하여 제 1 전극과 제 2 전극 사이의 영역에 있는 레이저 가스들에 에너지를 가하도록 구성된 제 1 및 제 2 전극;상기 광 방출로부터 레이저 빔을 생성하도록 구성된 광 공진 캐비티를 형성하는 다수의 반사 소자;상기 레이저 빔의 에너지를 측정하도록 구성된 검출기;상기 챔버와 유체를 소통시키는 가스 유동 장치; 및상기 가스 유동 장치 및 검출기와 소통하는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는 레이저 가스들의 흐름

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