초록

선형 엑시머 레이저(30)의 각 단에서 복수의 공진 미러(32, 34)가 위치함으로써 엑시머 레이저 빔의 횡방향 모드에서의 미세 구조가 최소화된다. 일단에서, 고반사 엔드 미러(32)와 부분반사 엔드 미러(34)가 서로에 대해 작은 각도로 기울어져 있다. 다른 일단에서, 2개의 출력 커플링 미러(36, 38)는 서로에 대해 작은 각도로 기울어져 있다. 공진기 미러(32, 34)의 이러한 배열은 임의의 미세 구조를 흐리게 하는 합성 레이저 빔을 생성한다.

대표청구항 ▼

레이저 빔을 발생시키는 엑시머 레이저에 있어서,에너지가 공급된 가스 혼합물을 함유하는 레이저 챔버;상기 레이저 빔의 파장에서 반사율이 높은 제1 후방 미러;상기 레이저 빔의 파장을 부분적으로 반사하는 제2 후방 미러로서, 상기 제1 및 제2 후방 미러는 상기 레이저 챔버의 일단에 위치하고, 상기 제2 후방 미러는 상기 제1 후방 미러와 상기 레이저 챔버 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2 후방 미러는 서로에 대해 제1 각도로 기울어진 상기 제2 후방 미러;제1 출력 커플링 미러; 및제2 출력 커플링 미러로서, 상기 제1 출력 커플

레이저 빔을 발생시키는 엑시머 레이저에 있어서,에너지가 공급된 가스 혼합물을 함유하는 레이저 챔버;상기 레이저 빔의 파장에서 반사율이 높은 제1 후방 미러;상기 레이저 빔의 파장을 부분적으로 반사하는 제2 후방 미러로서, 상기 제1 및 제2 후방 미러는 상기 레이저 챔버의 일단에 위치하고, 상기 제2 후방 미러는 상기 제1 후방 미러와 상기 레이저 챔버 사이에 위치하고, 상기 제1 및 제2 후방 미러는 서로에 대해 제1 각도로 기울어진 상기 제2 후방 미러;제1 출력 커플링 미러; 및제2 출력 커플링 미러로서, 상기 제1 출력 커플링 미러와 상기 제2 출력 커플링 미러는 상기 레이저 빔의 파장에서 부분적으로 반사하고, 상기 제1 및 제2 출력 커플링 미러는 상기 레이저 챔버의 대향하는 일단에 위치하고, 상기 제1 및 제2 출력 커플링 미러는 제2 각도로 서로에 대해 기울어지는 상기 제2 출력 커플링 미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 발생시키는 엑시머 레이저.