초록

엑시머 레이저의 공진을 유도하는 광 공진 장치와 실제 공진 시 이동하는 레이저 광의 이동 경로를 자동적으로 일치시키는 엑시머 레이저 장비가 제공된다. 엑시머 레이저 장비는 광 공진 장치와 광의 이동 경로의 최적의 위치를 산정하여 데이터를 생성하고 이를 자동으로 정렬시켜 엑시머 레이저 장비의 효율과 광 공진 장치의 수명을 상승 시킨다.

대표청구항 ▼

엑시머 레이저 발진 장치의 양 말단에 장착되어 레이저 모드를 조정하는 반사 장치; 상기 반사 장치에 유동성 있게 연결되어 레이저 광축을 정렬하는 광 공진 장치; 상기 광 공진 장치의 위치 조정을 가능하게 하는 1개 이상의 가동형 멈춤 장치; 상기 가동형 멈춤 장치에서 상기 광 공진 장치의 위치 변화 신호를 전달 받는 위치 변위 감지 장치; 상기 변위 감지 장치의 위치 변화 신호에 근거하여 최적의 광 공진 장치 정렬을 위한 위치

엑시머 레이저 발진 장치의 양 말단에 장착되어 레이저 모드를 조정하는 반사 장치; 상기 반사 장치에 유동성 있게 연결되어 레이저 광축을 정렬하는 광 공진 장치; 상기 광 공진 장치의 위치 조정을 가능하게 하는 1개 이상의 가동형 멈춤 장치; 상기 가동형 멈춤 장치에서 상기 광 공진 장치의 위치 변화 신호를 전달 받는 위치 변위 감지 장치; 상기 변위 감지 장치의 위치 변화 신호에 근거하여 최적의 광 공진 장치 정렬을 위한 위치 제어 명령을 생성하는 중앙 전산 처리 장치(308); 및 상기 중앙 전산 처리 장치의 신호를 받아 상기 가동형 멈춤 장치에 상기 위치 제어 명령을 전달하는 가동형 멈춤 장치 조정 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장비.