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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2004-0053050 (2004-07-08) |
공개번호 | 10-2006-0004073 (2006-01-12) |
등록번호 | 10-0577962-0000 (2006-05-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040053050 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2004-07-08) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 삼불화질소 가스의 정제방법에 관한 것으로, 알칼리 토금속으로 이온교환 및/또는 함침된 후 150∼600℃에서 30분∼100시간 동안 가열처리된 제올라이트 A의 혼합물을 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키는 단계를 포함하는 삼불화질소 가스의 정제방법에 관한 것이다.
알칼리 토금속으로 이온교환되거나, 함침되거나 또는 이온교환되고 함침된 제올라이트 A의 혼합물을 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키고 사불화탄소는 통기시킨 후, 순수한 삼불화질소를 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
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