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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2004-0091180 (2004-11-10) |
공개번호 | 10-2004-0103849 (2004-12-09) |
등록번호 | 10-0519126-0000 (2005-09-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040091180 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2004-11-10) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
유전체로서, 플라즈마 처리장치의 일부로 구성되는 고주파투과창의 적어도 한쪽 면에 설치되어, 유전체손실을 증가시키는 광으로부터 창을 보호하기 위한 차광막과, 유전체손실을 증가시키는 광을 반사하는 반사막을 포함하면서, 유전체손실을 증가시키는 광을 흡수하는 광흡수막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
플라즈마 처리장치의 일부로 구성되는 고주파투과창의 적어도 한쪽 면에 설치되어, 유전체손실을 증가시키는 광을 차광하는 차광막을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파투과창용 유전체.플라즈마처리장치의 일부로 구성되는 마이크로파창위에 설치되어, 유전체손실을 증가시키는 광을 반사하는 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파투과창용 유전체.플라즈마처리장치의 일부로 구성되는 마이크로파창위에 설치되어, 유전체손실을 증가시키는 광을 흡수하는 광흡수막을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 투과창용 유전체.
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