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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2004-0096299 (2004-11-23) |
| 공개번호 | 10-2006-0057211 (2006-05-26) |
| 등록번호 | 10-0684874-0000 (2007-02-13) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020040096299 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2005-01-20) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 반도체 제조에 많이 사용되는 질량 유량 제어기(MASS FLOW CONTROLLER)에 관한 것으로, 본 발명의 질량 유량 제어기는 유입구과 유출구를 갖는 그리고 메인공정 처리시에 가스가 흐르는 메인유로와, 상기 메인유로의 양단에 연결되어 퍼지공정 처리시에만 가스가 흐르는 퍼지유로를 갖는 몸체; 상기 메인유로상에 설치되어 상기 메인유로상의 가스 유량을 감지하여 제공하는 센서; 상기 메인유로로 흐르는 가스 유량을 제어하는 컨트롤 밸브; 상기 퍼지유로에 설치되는 개폐 밸브; 및 상기 센서에서 제공되는 가스 유량 및 제공되
반도체 제조에 사용되는 가스의 유량을 조절하는 질량 유량 제어기에 있어서: 유입구과 유출구를 갖는 그리고 메인공정 처리시에 가스가 흐르는 메인유로와, 상기 메인유로의 양단에 연결되어 퍼지공정 처리시에만 가스가 흐르는 퍼지유로를 갖는 몸체; 상기 메인유로상에 설치되어 상기 메인유로상의 가스 유량을 감지하여 제공하는 센서; 상기 메인유로로 흐르는 가스 유량을 제어하는 컨트롤 밸브; 상기 퍼지유로에 설치되는 개폐 밸브;
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