[특허]균일한 큰 입자를 갖는 화학적 기계적 연마에 유용한콜로이달 실리카 슬러리 및 그 제조방법

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[한국특허] 균일한 큰 입자를 갖는 화학적 기계적 연마에 유용한콜로이달 실리카 슬러리 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	C09K-003/14
출원번호	10-2004-0101938 (2004-12-06)
등록번호	10-0497411-0000 (2005-06-16)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020040101938
발명자 / 주소	정석조 / 대구 달서구 송현동 **- 김창훈 / 경북 칠곡군 석적면 남율리 우방신천지아파트 *- 조굉래 / 경북 구미시 오태동 행복아침 -* 변정환 / 경북 경산시 사동 부영그린마을 -* 배선윤 / 대구 남구 대명동 -* 효동아파트 * 박철진 / 경북 경산시 중산동 태왕한라아파트 -***
출원인 / 주소	에이스하이텍 주식회사 / 경기 광주군 초월면 늑현리 -
대리인 / 주소	백승준 (a) 부산 중구 중앙동가 - 경남빌딩 층 **호(신태양국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2004-12-06)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 균일한 큰 입자를 갖는 옥사이드 또는 STI-CMP에 유용한 콜로이달 실리카 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 CMP에 사용하는 콜로이달 실리카를 주제로 한 균일한 큰 입자를 갖는 CMP에 유용한 콜로이달 실리카 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 120㎚이상의 큰 입자 크기를 제조하여도 입도분포가 균일하고, 입자크기가 크기 때문에 종래의 기존 연마 슬러리는 연마제의 함량이 12.5 중량%에서 연마가 가능하지만 본 발명의 연마 슬러리는 연마제의 함량이 10 중량%일 경우에도 기존 연마 슬러리의 연마 성능과 대비하여 동등 이상의 연마율을 나타내기 때문에 연마율의 효과가 매우 좋고, 일반적으로 연마입자가 커지면 안정성이 떨어지지만 본 발명의 슬러리는 1년 이상이 경과하여도 응집되어 침전되는 현상이 일어나지 않는 장기간 안정성을 보여준다. 또한 퓸드 실리카의 경우는 고분자 물질, 계면활성제, 아민계의 물질 등 환경유해물질들이 다량 포함되어 있지만 본 발명의 콜로이달 실리카에는 상기와 같은 화학물질들이 거의 포함되어 있지 않아 친환경적인 CMP에 유용한 콜로이달 실리카인 것이 장점이다.

대표청구항

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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