최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-2004-0111137 (2004-12-23) |
공개번호 | 10-2006-0072484 (2006-06-28) |
등록번호 | 10-0788301-0000 (2007-12-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040111137 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2007-04-02) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 삼불화질소 가스의 정제방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 3A족 또는 4A족 금속으로 이온교환되고 150∼600℃에서 30분∼100시간 동안 가열처리된 제올라이트 3A를 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키는 단계를 포함하는 삼불화질소 가스의 정제방법에 관한 것이며, 본 발명에 의해 삼불화질소 가스로부터 사불화탄소를 제거하는 효과적인 방법을 제공할 수 있다.
3A족 또는 4A족 금속으로 이온교환된 제올라이트 3A를 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키고 사불화탄소는 통기시킨 후, 순수한 삼불화질소를 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.