초록 ▼

본 발명은 니켈(Ni)전극을 이용하여 전해질의 용융염 전기분해를 통해 삼불화질소(NF3)를 제조하는 전해조에 있어서, 그 구성요소로서 전해조 상판 냉각관을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 삼불화질소(NF3) 제조용 전해조 및 이를 이용한 삼불화질소(NF3)의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 생성되는 삼불화질소(NF3) 성분과 함께 동시에 과량으로 배출되는 불산(HF)의 기화를 억제하므로써 불산(HF)을 포함한 불순물의 함량을 효율적으로 낮출 수 있으며, 중요한 원부재료인 불산(HF)의 소모량 감소가 가능하

본 발명은 니켈(Ni)전극을 이용하여 전해질의 용융염 전기분해를 통해 삼불화질소(NF3)를 제조하는 전해조에 있어서, 그 구성요소로서 전해조 상판 냉각관을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 삼불화질소(NF3) 제조용 전해조 및 이를 이용한 삼불화질소(NF3)의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 생성되는 삼불화질소(NF3) 성분과 함께 동시에 과량으로 배출되는 불산(HF)의 기화를 억제하므로써 불산(HF)을 포함한 불순물의 함량을 효율적으로 낮출 수 있으며, 중요한 원부재료인 불산(HF)의 소모량 감소가 가능하므로 공정 원단위를 향상시키고, 또한 고순도 삼불화질소(NF3) 제조를 위한 후 공정의 부하를 줄여줌으로써 삼불화질소(NF3) 생성 수율 및 전체적인 유틸리티와 장치 효율성의 향상을 도모 할 수 있다.

대표청구항

용융염 전기분해를 통해 삼불화질소(NF3)를 제조하는 전해조에 있어서,전해조 몸체, 불소수지로 코팅된 바닥면, 불소 수지로 코팅된 분리판, 전해질, NI 음극(ANODE), NI 양극(CATHODE), 음극 연결봉, 양극 연결봉, 생성된 삼불화질소(NF3) 배출구, 생성된 수소(H2) 배출구, 전해조 상판, 냉각관으로 이루어진 전해조로서, 상기 냉각관은 전해조 상판 냉각관을 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소(NF3) 제조용 전해조.

용융염 전기분해를 통해 삼불화질소(NF3)를 제조하는 전해조에 있어서,전해조 몸체, 불소수지로 코팅된 바닥면, 불소 수지로 코팅된 분리판, 전해질, NI 음극(ANODE), NI 양극(CATHODE), 음극 연결봉, 양극 연결봉, 생성된 삼불화질소(NF3) 배출구, 생성된 수소(H2) 배출구, 전해조 상판, 냉각관으로 이루어진 전해조로서, 상기 냉각관은 전해조 상판 냉각관을 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소(NF3) 제조용 전해조.