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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2004-0112843 (2004-12-27) |
공개번호 | 10-2006-0074192 (2006-07-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040112843 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
웨이퍼의 플랫존을 이용하여 상기 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬 장치에서, 웨이퍼를 수평 방향으로 지지하기 위한 스테이지가 구비한다. 상기 스테이지를 통해 수직 방향으로 이동 가능하도록 정렬 척이 구비된다. 상기 정렬 척은 상기 스테이지의 상부에서 상기 웨이퍼를 일차 지지하며, 상기 일차 지지된 웨이퍼의 플랫존 부위를 기준으로 상기 일차 지지된 웨이퍼를 정렬하기 위하여 회전 및 수평 이동한다. 상기 일차 지지된 웨이퍼의 플랫존을 검출하기 위한 광센서가 상기 스테이지의 소정 부위에 장착된다. 따라서, 웨이퍼를 정렬하기 위한 상기 정렬
웨이퍼를 수평 방향으로 지지하기 위한 스테이지; 상기 스테이지를 통해 수직 방향으로 이동 가능하도록 배치되어 상기 스테이지의 상부에서 상기 웨이퍼를 일차 지지하며, 상기 일차 지지된 웨이퍼의 플랫존 부위를 기준으로 상기 일차 지지된 웨이퍼를 정렬하기 위하여 회전 및 수평 이동하며, 상기 정렬된 웨이퍼가 상기 스테이지 상에 지지되도록 하강하는 정렬 척; 및 상기 일차 지지된 웨이퍼의 플랫존을 검출하기 위한 광센서를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치.
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