초록 ▼

본 고안은 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 틸트 플레이트의 3점을 지지하여 평면도(기울기)를 조절할 수 있도록 함과 동시에 각 지점에 일대일 대응하도록 거리센서를 설치하여 피대상물과의 거리를 측정하도록 함으로서 피대상물의 평면도에 따라 카메라가 설치된 틸트 플레이트의 평면도가 가변조절되어 정확한 측정/검사작업이 가능하고 고부하에 견딜 수 있으며 정밀한 조정이 가능한 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다.이에 본 고안은 일정한 형태의 베이스 플레이트(11); 상기

본 고안은 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 틸트 플레이트의 3점을 지지하여 평면도(기울기)를 조절할 수 있도록 함과 동시에 각 지점에 일대일 대응하도록 거리센서를 설치하여 피대상물과의 거리를 측정하도록 함으로서 피대상물의 평면도에 따라 카메라가 설치된 틸트 플레이트의 평면도가 가변조절되어 정확한 측정/검사작업이 가능하고 고부하에 견딜 수 있으며 정밀한 조정이 가능한 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다.이에 본 고안은 일정한 형태의 베이스 플레이트(11); 상기 베이스 플레이트(11)의 상측으로 일정간격 이격되어 설치되는 틸트 플레이트(20); 상기 베이스 플레이트(11)와 틸트 플레이트(20)의 사이에서 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하도록 설치되어 틸트 플레이트(20)의 기울기를 조절하는 기울기조절수단(30)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

일정한 형태의 베이스 플레이트(11);상기 베이스 플레이트(11)의 상측으로 일정간격 이격되어 설치되는 틸트 플레이트(20);상기 베이스 플레이트(11)와 틸트 플레이트(20)의 사이에서 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하도록 설치되어 틸트 플레이트(20)의 기울기를 조절하는 기울기조절수단(30)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치.

일정한 형태의 베이스 플레이트(11);상기 베이스 플레이트(11)의 상측으로 일정간격 이격되어 설치되는 틸트 플레이트(20);상기 베이스 플레이트(11)와 틸트 플레이트(20)의 사이에서 틸트 플레이트(20)의 적어도 3점을 지지하도록 설치되어 틸트 플레이트(20)의 기울기를 조절하는 기울기조절수단(30)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3점 지지를 이용한 고정밀 틸트 스테이지 장치.