초록 ▼

본 고안은 스테퍼의 스테이지 위치보정장치에 관한 것으로, 종래 기술은 웨이퍼의 초점을 맞추기 위하여 틸트 스테이지(TILT STAGE)를 구동하면 바 미러에 기울기가 생기게 되어 계측상의 오차를 유발하는데, 이때 종래에는 바 미러의 편차를 감지할 수 있는 수단이 구비되어 있지 않으므로 웨이퍼의 노광 및 현상공정을 진행한 후 그 오차를 보정하여야 하는 바, 이에 본 고안은 빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분

본 고안은 스테퍼의 스테이지 위치보정장치에 관한 것으로, 종래 기술은 웨이퍼의 초점을 맞추기 위하여 틸트 스테이지(TILT STAGE)를 구동하면 바 미러에 기울기가 생기게 되어 계측상의 오차를 유발하는데, 이때 종래에는 바 미러의 편차를 감지할 수 있는 수단이 구비되어 있지 않으므로 웨이퍼의 노광 및 현상공정을 진행한 후 그 오차를 보정하여야 하는 바, 이에 본 고안은 빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분산시켜 주는 제 1빔 스플리터와, 그 제 1빔 스플리터에 의해 분리된 빔을 X 및 Y 각각의 레이저 간섭계로 보내는 X 및 Y 제 2빔 벤더와, 상기 각각의 레이저 간섭계로부터 빔을 전달받는 각각의 바 미러와, 그 각각의 바 미러에서 레이저 간섭계로 다시 반사된 빔을 각각의 리시버로 굴절시키는 제 2빔 스플리터와, 그 제 2빔 스플리터로부터 나온 빔을 감지하는 감지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼의 스테이지 위치보정장치를 제공함으로써, 틸트 스테이지의 구동시 기준광과 측정광의 계측상 오차를 자동적으로 감지하여 보정해 줌으로써 신속하고 용이하게 틸트 스테이지의 구동 불량을 인지할 수 있다.

대표청구항 ▼

빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분산시켜 주는 제 1빔 스플리터와, 그 제 1빔 스플리터에 의해 분리된 빔을 X 및 Y 각각의 레이저 간섭계로 보내는 X 및 Y 제 2빔 벤더와, 상기 각각의 레이저 간섭계로부터 빔을 전달받는 각각의 바 미러와, 그 각각의 바 미러에서 레이저 간섭계로 다시 반사된 빔을 각각의 리시버로 굴절시키는 제 2빔 스플리터와, 그 제 2빔 스플리터로부터 나온 빔을 감지하는 감지센서로

빔을 발생시키는 레이저 헤드와, 그 레이저 헤드에서 발생한 빔의 방향을 변경시켜 주는 제 1빔 벤더와, 그 제 1빔 벤더에서 전달 받은 빔을 X 및 Y 방향으로 분산시켜 주는 제 1빔 스플리터와, 그 제 1빔 스플리터에 의해 분리된 빔을 X 및 Y 각각의 레이저 간섭계로 보내는 X 및 Y 제 2빔 벤더와, 상기 각각의 레이저 간섭계로부터 빔을 전달받는 각각의 바 미러와, 그 각각의 바 미러에서 레이저 간섭계로 다시 반사된 빔을 각각의 리시버로 굴절시키는 제 2빔 스플리터와, 그 제 2빔 스플리터로부터 나온 빔을 감지하는 감지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 스테퍼의 스테이지 위치보정장치.