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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2004-0116138 (2004-12-30) |
공개번호 | 10-2006-0077324 (2006-07-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020040116138 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 플라즈마에 의해 몸체가 손상되지 않도록 형성되는 정전척에 관한 것이다. 반도체 제조설비에서 프로세스 진행 시 고온의 플라즈마에 의해 세라믹부가 들뜸으로 인한 헬륨리크를 방지하고, 플라즈마에 의해 정전척 몸체부가 손상됨을 방지하여 수명을 연장하기 위한 본 발명의 정전척은, 알루미늄 재질로 이루어진 정전척 몸체부와, 상기 정전척 몸체부의 상부 가장자리부분이 개방되도록 상기 정전척 몸체부의 상부에 형성된 절연부와, 상기 절연부의 전면에 형성된 세라믹부와, 상기 절연부의 개방공간에 상기 세라믹부와 상기
정전척에 있어서, 알루미늄 재질로 이루어진 정전척 몸체부와, 상기 정전척 몸체부의 상부 가장자리부분이 개방되도록 상기 정전척 몸체부의 상부에 형성된 절연부와, 상기 절연부의 전면에 형성된 세라믹부와, 상기 절연부의 개방공간에 상기 세라믹부와 상기 정전척 몸체부를 접착시키기 위한 폴리 에테르 에테르 케톤으로 구성함을 특징으로 하는 정전척.
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