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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0162240 (2013-12-24) | |
공개번호 | 10-2015-0074447 (2015-07-02) | |
등록번호 | 10-1591455-0000 (2016-01-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130162240 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-12-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
척 플레이트와, 상기 척 플레이트의 외측에 배치되는 포커스 링을 포함하고, 상기 척 플레이트는 제1척 플레이트와, 상기 제1척 플레이트의 외측 둘레에 배치되며, 상기 제1척 플레이트에 본딩되는 제2척 플레이트를 포함하는 정전척을 개시한다.
반도체 기판을 클램핑하는 척 플레이트를 포함하는 정전척에 있어서,상기 척 플레이트는,상부 척 플레이트와, 상기 상부 척 플레이트로부터 수직 방향으로 연장되되 상기 상부 척 플레이트 보다 작은 폭을 갖는 하부 척 플레이트를 포함하는 제1척 플레이트; 및상기 하부 척 플레이트의 외측 둘레에 배치되어 본딩되는 제2척 플레이트를 포함하고,상기 제2척 플레이트는, 상기 제1척 플레이트와 상기 제1척 플레이트 외측에 배치되는 포커스링 사이의 갭으로 플라즈마 가스가 침투하여 형성된 크랙을 제거한 부위에 본딩되는 것을 특징으로 하는 정전척.
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