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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0177141 (2019-12-27) | |
공개번호 | 10-2021-0084137 (2021-07-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190177141 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명의 실시예는 정전척 재생 방법 및 이에 따른 정전척에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 이를 위해 본 발명은 돌기의 표면에 다수의 요철이 형성된 정전척을 준비하는 단계; 및 돌기의 표면에 에어로졸 디포지션 방식으로 플라즈마 저항성 재생층을 형성하는 단계를 포함하는, 정전척 재생 방법 및 이에 따른 정전척을 제공한다.
기재의 표면에 다수의 돌기가 배열되어 있되, 돌기의 표면에 다수의 요철이 형성된 정전척을 준비하는 단계; 및돌기의 표면에 에어로졸 디포지션 방식으로 플라즈마 저항성 재생층을 형성하는 단계를 포함하는, 정전척 재생 방법.
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