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연합인증

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최종 연마 단계의 연마 시간 그리고/또는 초과 연마 시간을 계산함으로써 기판들의 화학 기계적인 연마를 제어하는 방법 및 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • B24B-049/03
출원번호 10-2004-7013401 (2004-08-26)
공개번호 10-2004-0086456 (2004-10-08)
등록번호 10-0941481-0000 (2010-02-02)
국제출원번호 PCT/US2002/041668 (2002-12-20)
국제공개번호 WO2003072305 (2003-09-04)
번역문제출일자 2004-08-26
DOI http://doi.org/10.8080/1020047013401
발명자 / 주소
  • 울스타인드럭 / 독일 ***** 드레스덴 헤르텔슈트라쎄 **
  • 래비거잰 / 독일 ***** 드레스덴 암 크니에 *
  • 막스젠줘드 / 독일 ***** 라데불 웨스틴슈트라쎄 **
출원인 / 주소
  • 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드 / 미국 캘리포니아 *****-**** 서니베일 원 에이엠디 플레이스 메일 스톱**
대리인 / 주소
  • 박장원
심사청구여부 있음 (2007-12-11)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

기판들(121)의 화학 기계적인 연마(CMP), 특히 금속층들의 화학 기계적인 연마를 위한 방법 및 제어기(150)가 개시된다. CMP 공정의 선형 모델에서, 처리될 금속층의 침식은 절연층을 연마하기 위한 개별적인 연마 압반 상에서의 초과 연마 시간 및 가능하게는 추가의 연마 시간에 의해 결정되며, CMP 고유 특성들은 실험적으로 얻어지는 감도 파라미터들에 의해 표현된다. 또한, 제어 동작은, 미세한 공정 편차들로 인해 감도 파라미터들이 어떠한 부정확성을 갖는다고 할지라도 적절한 제어기 응답이 얻어지도록 설계된다.

대표청구항 ▼

기판들의 화학 기계적인 연마를 제어하는 방법에 있어서, 기판의 연마될 제 1 물질층에 대한 초과 연마 시간과 상기 기판의 제 1 물질층과 관련된 제어 변수 간의 관계를 정량적으로 기술하는 제 1 감도 파라미터를 얻는 단계와; 상기 기판의 이전에 연마된 제 2 물질층과 관련된 제어 변수와 선행하는 기판의 연마된 제 2 물질층과 관련된 제어 변수 간의 관계를 정량적으로 기술하는 제 2 감도 파라미터를 얻는 단계와; 화학 기계적인 연마 공정의 선형 모델로부터 상기 기판의 제 1 물질층의 초과 연마 시간을 계산하는 단계와, 여기서 상기 모

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