초록 ▼

본 발명은 광 스위치와 광 디스플레이 등 광신호 또는 빛의 방향을 기계적으로 바꾸어 주기 위해 큰 힘으로 구동이 가능하면서 구동전압이 낮고, 전력소모가 작은 마이크로 미러에 관한 것으로, 바닥면에서 소정의 높이로 토션바에 의해 회전가능하도록 설치되는 유전층플레이트; 상기 유전층플레이트 상면 중심부에 형성된 마이크로 미러면; 상기 마이크로 미러면을 감싸도록 상기 유전층플레이트 상면에 형성된 코일; 상기 마이크로 미러면의 양측의 유전층플레이트 상면에 형성된 상부전극; 상기 코일과 상부전극에 전류를 공급하는 도선; 및 상기 상부전극이 위

본 발명은 광 스위치와 광 디스플레이 등 광신호 또는 빛의 방향을 기계적으로 바꾸어 주기 위해 큰 힘으로 구동이 가능하면서 구동전압이 낮고, 전력소모가 작은 마이크로 미러에 관한 것으로, 바닥면에서 소정의 높이로 토션바에 의해 회전가능하도록 설치되는 유전층플레이트; 상기 유전층플레이트 상면 중심부에 형성된 마이크로 미러면; 상기 마이크로 미러면을 감싸도록 상기 유전층플레이트 상면에 형성된 코일; 상기 마이크로 미러면의 양측의 유전층플레이트 상면에 형성된 상부전극; 상기 코일과 상부전극에 전류를 공급하는 도선; 및 상기 상부전극이 위치하는 유전층플레이트 부분의 아래로 소정의 거리로 이격되어 설치되는 하부전극을 포함하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러이다.

대표청구항 ▼

바닥면에서 소정의 높이로 토션바에 의해 회전가능하도록 설치되는 유전층플레이트|상기 유전층플레이트 상면 중심부에 형성된 마이크로 미러면|상기 마이크로 미러면을 감싸도록 상기 유전층플레이트 상면에 형성된 코일|상기 마이크로 미러면의 양측의 유전층플레이트 상면에 형성된 상부전극|상기 코일과 상부전극에 전류를 공급하는 도선| 및상기 상부전극이 위치하는 유전층플레이트 부분의 아래로 소정의 거리로 이격되어 설치되는 하부전극을 포함하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러.제1항에 있어서, 상부전극과 코일 사이의 유전층플레이트에는 연결

바닥면에서 소정의 높이로 토션바에 의해 회전가능하도록 설치되는 유전층플레이트|상기 유전층플레이트 상면 중심부에 형성된 마이크로 미러면|상기 마이크로 미러면을 감싸도록 상기 유전층플레이트 상면에 형성된 코일|상기 마이크로 미러면의 양측의 유전층플레이트 상면에 형성된 상부전극|상기 코일과 상부전극에 전류를 공급하는 도선| 및상기 상부전극이 위치하는 유전층플레이트 부분의 아래로 소정의 거리로 이격되어 설치되는 하부전극을 포함하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러.제1항에 있어서, 상부전극과 코일 사이의 유전층플레이트에는 연결부가 형성되어, 상기 상부전극 부분의 유전층플레이트가 꺾여 상기 하부전극에 맞닿을 수 있는 것을 특징으로 하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러.제2항에 있어서, 연결부는 상부전극과 코일 사이의 유전층플레이트에 가로방향으로 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러.제1항에 있어서, 미러면은 빛의 반사도를 높이기 위하여 금속 물질로 코팅된 것을 특징으로 하는 전자기력과 정전기력으로 구동하는 마이크로 미러.