초록 ▼

본 발명은 진공 라인의 막힘을 방지하기 위한 반도체 제조 설비에 관한 것이다. 기존의 박막 증착 설비는 공정 진행시, 진공 라인에 파우더가 생성되어 진공 라인이 막혀서 공정 진행을 중지하고 진공 라인을 분리 후, 세정한 다음 재설치하여야 했다. 이 경우, 진공 라인 분리 작업에 소요 시간이 많이 걸리고, 감전, 화상 또는 쇼트 등의 위험 요소가 많아서 작업시에도 많은 주의를 기울여야 한다. 본 발명의 반도체 제조 설비는 진공 라인에 진공 호스 포트를 구비하고, 진공 라인이 파우더에 의해 막혔을 경우, 진공 호스 포트의 엔드 캡

본 발명은 진공 라인의 막힘을 방지하기 위한 반도체 제조 설비에 관한 것이다. 기존의 박막 증착 설비는 공정 진행시, 진공 라인에 파우더가 생성되어 진공 라인이 막혀서 공정 진행을 중지하고 진공 라인을 분리 후, 세정한 다음 재설치하여야 했다. 이 경우, 진공 라인 분리 작업에 소요 시간이 많이 걸리고, 감전, 화상 또는 쇼트 등의 위험 요소가 많아서 작업시에도 많은 주의를 기울여야 한다. 본 발명의 반도체 제조 설비는 진공 라인에 진공 호스 포트를 구비하고, 진공 라인이 파우더에 의해 막혔을 경우, 진공 호스 포트의 엔드 캡을 분리하여 막힌 부위의 파우더를 제거한다. 본 발명에 의하면, 진공 라인의 파우더 제거시, 간편하고 빠르게 안전한 작업을 할 수 있다.

대표청구항

반도체 제조 설비에 있어서: 공정 챔버와 트랩 사이에 구비되는 진공 라인 및; 상기 진공 라인에 발생되는 파우더를 제거하기 위해 상기 진공 라인에 구비되는 진공 호스 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.

반도체 제조 설비에 있어서: 공정 챔버와 트랩 사이에 구비되는 진공 라인 및; 상기 진공 라인에 발생되는 파우더를 제거하기 위해 상기 진공 라인에 구비되는 진공 호스 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.