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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)씨브이아이 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-12 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500016044 |
과제고유번호 | 1425083482 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-17 |
키워드 | Semiconductor.Tech Process.Anti-Powder. |
□ 개발목표
계획
반도체, LCD 및 LED_MOCVD 설비 공정용 Anti-Powder System
실적
개발완료, 제3자 기관인증, 현장 품질 검증 진행 중
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 초음파 Module : 계획(20~40KHz), 실적(Passed / 만족)
2. 정격가변전압 : 계획(1~24Vdc), 실적(Passed / 만족)
3. 온도 (동작온도 / 발열제어) : 계획(<60℃), 실적(Passed / <34℃)
4. 소음 : 계획(<65dB), 실적(Pas
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