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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0033905 (2005-04-25) |
공개번호 | 10-2006-0111930 (2006-10-31) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050033905 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
웨이퍼 상의 패턴 형성을 위한 레티클을 반송하는 과정이 수동으로 진행되는 문제를 개선하기 위한 레티클 반송 장치가 개시된다. 그러한 레티클 반송 장치는 레티클을 저장하기 위한 레티클 샵으로부터 레티클을 로딩하여 노광 장치로 자동으로 반송하는 반송용 로더, 로딩용 로봇 및 언로딩용 로봇을 구비한다. 그리하여 본 발명은 종래에 레티클이 레티클 샵으로부터 스테퍼로 반송되는 과정이 작업자에 의해 수동으로 진행됨으로 인해 레티클 반송 과정에 작업자가 항상 필요하게 되는 문제점을 개선하는 효과를 갖는다.
웨이퍼 상의 패턴 형성을 위한 레티클을 저장하는 레티클 샵으로부터 상기 레티클을 노광 장치로 반송하기 위한 레티클 반송 장치에 있어서:상기 레티클 샵으로부터 상기 레티클을 로딩하여 자동으로 상기 노광 장치로 반송하는 것을 특징으로 하는 레티클 반송 장치.
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