[특허]웨이퍼 세정 방법

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[한국특허] 웨이퍼 세정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304
출원번호	10-2005-0035969 (2005-04-29)
공개번호	10-2006-0113095 (2006-11-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020050035969
발명자 / 주소	이광호 / 충청북도 청주시 흥덕구 향정동 하이닉스반도체 남자기숙사 -**
출원인 / 주소	매그나칩 반도체 유한회사 / 충북 청주시 흥덕구 향정동 *
대리인 / 주소	특허법인화우 (YOON YANG KIM SHIN &YU) 서울 서초구 서초동 ***- 남강빌딩 **층
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

본 발명은 웨이퍼 세정 방법에 관한 것으로, 웨이퍼 세정 공정이 정상적으로 수행되지 않아 잔류하는 워터 마크에 의해서 반도체 소자의 불량이 유발되는 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 습식 웨이퍼 세정 공정 장치의 DI(DEIONIZED)-워터 린스조와 건조조 사이에 IPA(ISOPROPYL ALCOHOL) 용액이 담겨있는 IPA 세정조를 추가하고, DI-워터 세척이 끝난 웨이퍼에 IPA 용액을 이용하여 충분한 시간 동안 세정 공정을 수행함으로써, 웨이퍼 표면에 잔류하는 워터 마크를 완전하게 제거할 수 있는 웨이퍼 세정 방법에 관한

대표청구항

웨이퍼를 HF를 이용하여 세정하는 단계;상기 웨이퍼를 DI(DEIONIZED)-워터를 이용하여 세척하는 단계;상기 웨이퍼를 IPA(ISOPROPYL ALCOHOL) 용액에 소정 시간 디핑하는 단계; 및상기 웨이퍼 표면에 잔류하는 물질을 IPA 기체를 이용한 건조 방법으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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