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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0053447 (2005-06-21) |
공개번호 | 10-2006-0133684 (2006-12-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050053447 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 건조공정시 건조수단을 이용함으로써, 균일한 배향막을 형성하고, 아울러 불균일한 배향막으로 인한 표면 얼룩불량 및 빛샘불량을 방지할 수 있는 배향막 전조 시스템 및 배향막 형성방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 배향막이 인쇄된 기판을 안착하고, 이를 이동시킬수 있는 건조 테이블; 상기 건조 테이블에 고정되어 상기 기판을 지지하는 리프트핀; 상기 기판 상부에 상기 배향막의 솔벤트 제거를 위한 밴트를 구비한 건조수단을 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 건조수단은 벤트를 구동하는 모터부와, 상기 모터부를 제어하는 제어부와, 공
배향막이 인쇄된 기판을 안착하고, 이를 이동시킬수 있는 건조 테이블;상기 기판 상부에 상기 배향막의 솔벤트 제거를 위한 밴트를 구비한 건조수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 건조 시스템.
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