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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0135258 (2009-12-31) |
공개번호 | 10-2011-0078443 (2011-07-07) |
등록번호 | 10-1101378-0000 (2011-12-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090135258 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-07-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 액정표시소자의 제조에 사용되는 세정액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아민계 화합물, 플루오린계 화합물, 유기산, 유기용매 및 잔량의 물을 포함하는 세정액 조성물에 관한 것이다.본 발명에 따른 세정액 조성물은 액정표시소자 공정 중 식각(Etch) 및 스트립(strip) 공정 후 구리 또는 구리합금 배선 상의 스트립 잔사 및 식각 잔사에 대하여 우수한 세정력을 가지며, 부식에 취약한 구리에 대한 부식 방지력이 우수하다. 또한, 글라스 세정시 물박테리아 등에 대한 우수한 세정력과 금속막 이외의 절연막에도 우수한 세정력
아민계 화합물 1 내지 10 중량%, 플루오린계 화합물 0.1 내지 10 중량%, 유기산 0.1% 내지 10% 중량%, 유기용매 10 내지 40 중량% 및 잔량의 물을 포함하는 세정액 조성물.
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