[특허]강유전체막 및 강유전체 커패시터 형성 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-027/115 H01L-021/8247 H01L-027/04 H01L-021/31
출원번호	10-2005-0086433 (2005-09-15)
등록번호	10-0660550-0000 (2006-12-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020050086433
발명자 / 주소	임동현 / 경기 수원시 영통구 망포동 **번지 조은빌차 *동호 배병재 / 경기 화성시 반월동 신영통현대차아파트 *동 호 임지은 / 경기 용인시 기흥구 영덕동 신일아파트 동 *호 유동철 / 경기 성남시 분당구 분당동 샛별마을 삼부아파트 - 정연규 / 경기 수원시 영통구 원천동 - 신동아파라디움*-*
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	오세준; 송윤호; 권혁수 (Oh, Se Jun) 서울시 강남구 역삼동 *-번지 테라빌층(고려국제특허법률사무소); 서울특별시 강남구 역삼동 - 층 고려국제특허법률사무소; 서울 강남구 역삼동 - *층(고려국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2005-09-15)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

강유전체막 및 강유전체 커패시터 형성 방법을 제공한다. 이 방법은 산소 및 아산화질소의 혼합 가스를 산화 가스로 사용하여 금속 산화물 유전체막을 형성하는 것이 특징이다. 산화 가스는 산소와 아산화질소의 혼합 가스이며, 산소 및 아산화질소의 혼합비는 1:2 내지 1:4인 것이 특징이다. 이 방법에 따르면 산소만 산화 가스로 사용하는 경우 발생되는 강유전체막의 초기 증착불량을 방지할 수 있고, 강유전체막의 초기 증착 불량이 억제되어 상대적으로 낮은 두께의 강유전체막을 형성하더라도 강유전체 특성에 미치는 영향이 적으므로, 강유전체막의 두

대표청구항

금속 전구체를 공급하고, 산소 및 아산화질소의 혼합비가 1:2 내지 1:4인 산화가스를 공급하여 페로브스카이트 결정 구조의 금속 산화물 유전체막을 기판 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 강유전체막 형성 방법.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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